据悉，日前中国散裂中子源(CSNS)探测器团队利用自主研制的磁控溅射大面积镀硼专用装置，成功研发出满足中子探测器需求的高性能大面积碳化硼薄膜样品lopgubqhs。

根据相关资料显示，相关薄膜单片面积达到 1500mm×500mm，薄膜厚度 1微米，全尺寸范围内厚度均匀性优于 ±1.32%，号称是“目前国际上用于中子探测的较大面积的碳化硼薄膜”。

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据介绍，研究团队历经多年较终克服溅射靶材制作、过渡层选择、基材表面处理等对镀膜质量影响大的关键技术，从而顺利研发出自主研发的磁控溅射大面积镀硼专用装置。

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